Благодаря высокой электропроводности алюминий используется в качестве проводника в микроэлектронике либо в чистом виде, либо в виде сплавов. Алюминий не принадлежит к благородным металлам. Однако из-за образования на поверхности очень тонкой (несколько нм) пленки окиси алюминия (Al ) алюминий становится инертным к воздействию многих агрессивных веществ. По этой причине травители алюминия должны содержать как вещества, растворяющие окись алюминия Al , так и вещества растворяющие алюминий. Механизм травления алюминия Типичные травители алюминия представляют смеси, содержащие 1-5 % азотной кислоты (HNO ) (для окисления алюминия), 65-75 % фосфорной кислоты (H ), 5-10% уксусной кислоты (CH O для регулирования скорости травления. Реакция травления алюминия является сильно экзотермической и изотропной, что с неизбежностью приводит к подтравливанию подложки под резистивной маской. ) слоя окиси алюминия, который присутствует на любой поверхности алюминия. Скорость травления и селективность Селективность: большинство травителей алюминия воздействуют на медь сильнее, чем на алюминий. Скорость травления никеля ниже, чем алюминия. Титан, хром и серебро слабо реагируют в травителях для алюминия, на благородные металлы золото или платина алюминиевые травители не воздействуют. O = 73% : 3,1% : 3,3% : 20,6% Скорость травления алюминия сильно зависит от температуры, что видно из следующего графика: Зависимость скорости травления Al от температуры. на основании материалов фирмы MicroChemicals